Smile, Smart, Speed

고객의 만족을 위하여 최선을 다하는 기업, 정문사이언스입니다.

공정장비

HomeHOME > 회사소개 >공정장비

1200c Compact Magnet Driven Sliding Tube Furnace for Two Dimension Material

모델명 : CY-OTF-1200X-S-DVD

상품상세정보

Basic Info


  • Model NO.: CY-OTF-1200X-S-DVD 
  • Structure: Desktop
  • Certification: CE, TUV
  • Type: Heating Type
  • Max.Heating Rate: =<20c/Min.
  • Heating Element: Resistance Wire
  • Tube Size: Customized
  • Trademark: CY
  • Specification: OD. 50mm
  • HS Code: 85141090
  • Customized: Customized
  • Material: Steel
  • Application: Lab
  • Max.Temperature: 1200c
  • Temperature Accuracy: +/-1c
  • Vacuum Flange: Stainless Steel
  • Warranty: One Year
  • Transport Package: Wooden Box
  • Origin: Zhengzhou, China

 

Product Description


1200℃ Compact Magnet Driven Sliding Tube Furnace for DVD & RTP / atmosphere tube furnace

 

This is a compact magnet driven sliding 2" tube furnace with a max. working temperature of 1200°C, which is designed for direct vaporizing deposition (DVD) or rapid thermal processing (RTP) under various atmosphere for 2D material growth. 


Specifications

Furnace Feature

One high thermal conductivity AlN flat sample holder (2"Lx1"W) is fixed on 
K type sample, andthe thermal couple with the sample holder can be moved inside quartz tube 
driven by a 
magnet manually to find desirable temperature position inside tube for 
evaporation or deposition. 
One NIST certified precision temperature monitor is connected to thermal 
couple and 
sample holder via a feedthrough on the vacuum flange.
One magnet is embedded inside thermal block, and another magnet is 
placed outside tube.
 move the outside magnet can move the sample holder with thermal couple 
inside tube in or out
30 segment programmable temperature controller is built in furnace to set 
up max. 
working temperature up to 1200oC at center of furnace
One small quartz crucible is included , which can be used to contain 
evaporation material or
 please wafer on top for deposition based on your application.

Furnace Power 

110VAC or 208 - 240 VAC, 50/60Hz (Please confirm voltage when place order )
1.5 KW

Max. Temperature 

1200°C (<1 hour) 

Continuous 
Temperature 

1100°C ( continuous) 

Max. Heating Rate 

<= 20 °C/min

Heating Zone

Heating Zone Length: 8" (200mm), single zone. The following picture shows 
the temp. 
distribution across the heating zone, please click to enlarge.
Constant Temp. Zone: 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 1000 °C 
You shall measure furnace temperature profile for your own application 
before making film growth.

Temperature 
Controller

 PID automatic control via solid state relay with 30 steps programmable
Built in Over Temperature and Thermocouple Failure Protection
Optional: The furnace may be operated by PC with installing a control module.

Temperature 
Accuracy 

+/- 1°C

Heating Elements

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

Tube Size

 2" quartz tube (50mm O.D x 44mm I.D x 800mm L) 
Two fibrous ceramic tube blocks are included for blocking heat radiation 
from tube chamber. 
(Ceramic blocks must be fully inserted into the furnace chamber before 
heating)
One small quartz boats is included for placing sample or evaporation 
materials.

Vacuum Flanges

2" default flange with 1/4'' Bard fittings, 1/4'' tube feedthrough port 
(for 1/4" O.D thermocouple insert) and a KF25 vacuum port

Vacuum Level

10-2torr (by mechanical pump) 

Dimensions

With lid close: 1055mm(L) × 300mm(W) × 400mm(H) With lid open: 
1055mm(L) × 300mm(W) × 560mm(H)

Net Weight 

22 Kg 

Shipping 
Package Size

48''(L) x 24''(W) x 28''(H)

Shipping Weight 

120 lbs

Warranty 

One year limited warranty 

Compliance

CE Certified