제주장학재단

Furnace 
Construction

Double layer steel casing with air cooling 
High purity alumina fiber insulation for max. energy saving 
Splitable cover for easy tube replacement 

Power 
Consumption

5 KW

Input Voltage 

AC 208-240V Single Phase, 50 or 60 Hz 

Maximum 
Temperature 

1200℃ 

Continuous 
Temperature 

1100℃

Maximum 
Heating Rate 

<= 20℃ /min 

Heating Zone 
Length

Three zones: (880mm, 35" in total)
Zone 1: 220mm (8.6" )
Zone 2: 440mm (17.3")
Zone 3: 220 mm (8.6")

Constant 
Temperature 
Zone

If three zones are set at the same temperature, constant temperature zone 
is 25" 
(625 mm) long with a temperature discrepancy of +/- 1℃.
If using only one zone (center zone), constant temperature zone is 4.3" 
(110 mm) 
long with a temperature discrepancy of +/- 1℃.

Temperature 
Accuracy

+/- 1℃

Heating 
Elements

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

Temperature 
Controller

Three precision temperature controllers to control three zones separately.
PID automatic control with 30 programmable segments for precise control 
of heating rate, cooling rate and dwell time.
Built in overheating & broken thermocouple protection.
Over temperature protection and alarm allows for operation without 
attendant(s).
+/- 1 C temperature accuracy.
RS485 Communications Port..

Quartz Tube& 
Sealing Flanges

80 mm O.D x 72 mm ID. x 1400 mm fused quartz tube included. 
Vacuum flanges with valves and pressure gauge are included. 
Thermal block must be placed inside tube as the drawing below 

Vacuum Sealing 
Flanges

Two stainless steel flanges with both vacuum gauge and valves included.
Min. vacuum pressure achieved by mechanical pump is 5.5 m-torr. 
( 5.5x10^-3 torr). 
The pressure can reach 10^-5 torr by using mechanical + molecular pump.
Leaking rate is < 5 m-torr / min. and stable vacuum pressure after 24 hours 
is < 2 torr.

Oxygen Monitoring

An Oxygen Sensor can be used to monitor the oxygen level of gas(es) used 
in CVD systems
 for preventing or reducing oxidation. Please click the picture below to 
learn more:

Vacuum Pump

120 L/m Rotary Vane Vacuum Pump is included with max. vacuum pressure
 of 10^-2torr. Stainless steel hose tube is included for connecting to tube 
furnace.

Gas Flow Meter 
and
 Pressure Meter
 

Three gas flow-meters (4% accuracy FS) are installed inside the mobile case 
to 
enable monitoring of gas flowing rates 
Compact direct read flow meter, 10-100 cc/min.
Compact direct read flow meter, 16-160 cc/min.
Compact direct read flow meter, 25-250 cc/min.

Valves

Four stainless steel valves are installed in the side panel of mobile cart to 
control mixing of three inlet gases separately

Dimensions

Furnace: 1100 X 450 x 670 mm
Bottom Mobile case: 600x600x597 mm