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공정장비

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Spinner

모델명 :
제품 견적문의

상품상세정보

< SPECIFICATION >

1. Main Control : PC / HMI System
2. 구동 Control : PLC
3. 3AXIS Robot : KORO8100
4. Coater Unit : 1ea
5. Develop Unit : 1ea
6. Bake Unit : 2ea

             MAX : 200℃

7. Loader Unit : 2ea
8. SPIN MOTOR : PANASONIC AC SERVO

              MAX : 6000RPM

9. Dispense : HAEMOSU PUMP